研究人员提出了一种新的激光晶体热管理方法,即直接在晶体表面异质外延生长金刚石薄膜。研究人员采用微波等离子体化学气相沉积技术(MPCVD),以与金刚石性质差异巨大的YAG晶体作为衬底,系统研究了在该衬底上异质外延生长金刚石的工艺,讨论了预沉积处理对金刚石异质外延的作用机理,成功制备了一系列连续、高质量的金刚石薄膜。对沉积后的YAG晶体表征后发现,金刚石薄膜的沉积有效提高了晶体的热性能,同时对其光学性能的影响极小,满足激光应用的需求。该研究为固体激光器的热管理提供了新的选择。

不同样品的表面形貌及其热学性能
研究团队单位:上海光学精密机械研究所

