中文摘要
提出了提取电磁场的传导波混合隐失波与目标相互作用后的信息的非探针扫描近场光学编码显微成像、成谱术。该方法既适用于在可见光区段显微成像，又可以在极富应用潜力的太赫兹波段显微成像。项目执行期间基本研究出了Hadamard变换光学对扰动响应的规律，丰富了Hadamard变换光学成像理论。研制出用超短脉冲电化学方法加工微纳结构的刀具制作装置及方法，制作的刀具达到90纳米特征尺度，长径比可到10。初步做出了带有绝缘膜的微刀具。研制成纳秒微能脉冲电源的电化学微纳加工装置并带有视频显微观测记录系统。现在正进行脉冲电化学加工编码板工艺研究中。建立了纳米定位精度的三维工作平台及必要的环境，系统长时间稳定性达到正负1纳米。
英文摘要
A novel non-probe near field optical encoding imaging spectrometry using evanescent field and travelling wave with cross action of the sample and surface plasmon to enhance near field light is suggested. The spectrometry can be used to visible light, infrared and T Hz wave. In working period of the project the response analysis of fluctuations in Hadamard transform optics is completed.The machining device with video recording,micro-tool with aspect 10 and diameter 90nm,micro-energe nano- pulse supply power are set up. Micro-tool with insulation film is preliminary completed. Now nano-pulse machining technology for encoding mask is rerearching.A fast and highly accurate nanopositioning and XYZ scanning systems are also set up.
结题摘要
提出了提取电磁场的传导波混合隐失波与目标相互作用后的信息的非探针扫描近场光学编码显微成像、成谱术。该方法既适用于在可见光区段显微成像，又可以在极富应用潜力的太赫兹波段显微成像。项目执行期间基本研究出了Hadamard变换光学对扰动响应的规律，丰富了Hadamard变换光学成像理论。研制出用超短脉冲电化学方法加工微纳结构的刀具制作装置及方法，制作的刀具达到90纳米特征尺度，长径比可到10。初步做出了带有绝缘膜的微刀具。研制成纳秒微能脉冲电源的电化学微纳加工装置并带有视频显微观测记录系统。现在正进行脉冲电化学加工编码板工艺研究中。建立了纳米定位精度的三维工作平台及必要的环境，系统长时间稳定性达到正负1纳米。